自动晶圆转移系统

自动晶圆转移系统SWTS是自动晶片转移机,可以根据需要分割、合并、排序、压缩晶片批次或创建单个晶片混合。
自动晶圆转移系统配备有两个加载端口和机械晶片凹口/平面对准器。晶片处理通过边缘夹持实现，因此不需要真空。
自动晶圆转移系统还配备了一个自动批量晶片夹持器，用于转移整批晶片。
自动晶圆转移系统可用于100、125、150和200mm晶片。
自动晶圆转移系统特点
吞吐量可达700 wph
低拥有成本
桌面系统或带支架
不需要真空
单质量晶圆传输
完全SECS/GEM合规
Windows操作系统
静电安全
RFID磁带识别
可能升级到WAFERIIdentification
可靠，无易损件