晶圆对准器

晶圆对准器是桌面自动晶片对准仪器,设计用于对齐晶片盒。在对准过程中，经处理的晶片表面不会接触晶圆盒。存储8个角度，一个可自由编程。集成检查模式允许检查晶圆边缘。可用于100、125、150和200mm晶片。
晶圆对准器特点
桌面系统
非常紧凑,占地面积：255 x 150mm 
精确对准+/-1°
一个自由可编程角度0-360°
静电安全
集成控制器
液晶显示器
触发RFID等的输出
用于自动化的RS232接口
电源110-230 VAC/50-60 Hz
数据表和技术文档