大量晶圆传送系统

大量晶圆传送系统SWTM是批量晶片转移设备,能够将一个晶圆盒中的所有晶片转移到另一个盒中。该系统配备一个晶圆盒站、机械晶片凹口/平面对准器和夹持器机械装置。
大量晶圆传送系统可用于100、125、150和200mm晶圆。
大量晶圆传送系统的传输模式：
存储盒->处理盒
处理盒->特氟隆盒
高轮廓暗盒->低轮廓暗盒
大量晶圆传送系统特点
吞吐量可达2000 wph
集成平面/凹口对准器
抓边
不需要真空
完全SECS/GEM合规
静电安全
RFID磁带识别请求