桌面型自动批量晶片转移器

桌面型自动批量晶片转移器是为批量晶圆转移设计的自动晶圆转移设备,实现批量晶片在两个晶片盒之间水平“滑动传送”。
大多数与高剖面和低剖面晶圆cassettes框架盒兼容。晶圆转移（AHWT）系列是一种维护成本非常低的产品。如果感觉到电阻，则电流感应反向。为ISO 5级（FS209E 10级）设计；抗静电结构，耐化学腐蚀。
桌面型自动批量晶片转移器规格参数
晶圆尺寸：76, 100, 150, 200mm 
供电：12VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately
吞吐量：100个框架盒/小时
重量：约为17kg