自动晶圆传送机

自动晶圆传送机是自动把FOUP盒晶圆传送给FOSB盒的设备。mapped晶片在晶圆盒中缓慢地整体提升；zui大限度地减少与晶圆框架盒的接触，消除颗粒、磨损或晶片边缘剥落的风险。
自动晶圆传送机坚固的结构确保了高可靠性、低维护,节省了宝贵的洁净室空间。
自动晶圆传送机抗静电结构专为ISO 3级设计。
自动晶圆传送机特点
触摸屏控制
FOUP给FOSB
映射功能检查是否存在交叉槽、双堆叠和晶片
PVDF涂层棒一次传送25个晶片
自动晶圆传送机规格参数

适合晶圆尺寸	300mm
供电要求	24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately
吞吐量	60晶圆盒/小时
重量	约38kg