进口高纯度衬底晶圆

进口高纯度衬底晶圆是美国进口晶圆衬底片,可提供各种标准尺寸或定制规格,具有精确晶圆表面和精确定向,可提供进口晶圆衬底有：Al₂O_3，BaF_2，BaTiO_3，CaF_2，CdS，CdSe,CdTe, DyScO3, GaN, GdScO3, Ge, Gd₃Ga₅O_12,    KBr,KTaO_3,LaAlO_3,LiF,LiNbO_3,LiAlO_2,(La,Sr) MgAl₂O_4,MgF_2,MgO,NdGaO_3,(1-x)Pb(Mg_1/3Nb_2/3) - xPbTiO_{3, Si,} (Al,Ta)O_3, LiTaO_3,SiC, SiO_2,α-SiO_2, SrLaAlO_4, SrTiO_3,SrTiO₃:Nb, TbScO3, TiO2,Y₃Al₅O_12,Y3Fe5O12, YAlO₃:Ce,ZnO, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZrO₂:Y, YVO_4,YAlO_3等。
进口高纯度衬底晶圆属性
方向：
立方和四方晶体的（100）、（001）、（111）、（110）
六方晶体的（0001），（1102），（1120），（1010）
米勒指数较高或相邻基质的其他方向
定位精度：±0.5°，典型<0.3°，或根据要求*hao
典型尺寸：
5毫米x 5毫米，10毫米x 10毫米，10毫米x 5毫米，15毫米x 15毫米，12.7毫米x12.7毫米，20毫米x20毫米，25毫米x25毫米，ø1“，ø2”
横向公差：+0/-0.05 mm
典型厚度：
0.5毫米、1.0毫米，其他厚度可根据要求降至0.1毫米
垂直公差：+/-0.05 mm，或根据要求*hao
抛光：单面或双面epi抛光
表面质量：放大50倍无划痕
微粗糙度（用干涉仪显微镜测量,横向分辨率：0.64µm，垂直分辨率：理论0.01 nm）
粗糙度：（λ截止值=0.08 mm）
Ra:<0.5纳米
Rq:<1.0纳米
室温：<2.0纳米
每批中包含的粗糙度证书
根据要求对侧面（圆柱体）进行光学抛光。
进口高纯度衬底晶圆可提供种类

晶圆材料	化学名称	非科学-/矿物名称
Al2O3	Aluminium oxide	Sapphire
BaF2	Barium fluoride	Frankdicksonite
BaTiO3	Barium titanate	BTO
CaF2	Calcium fluoride	Fluorspar
CdS	Cadmium sulfide	Greenockite
CdSe	Cadmium selenide	Cadmoselite
CdTe	Cadmium telluride	-
DyScO3
GaN	Gallium Nitride
GdScO3
Ge	Germanium	-
Gd3Ga5O12	Gadolinium Gallium Garnet	GGG
KBr	Potassium bromide	-
KTaO3	Potassium tantalate	-
LaAlO3	Lanthanum aluminate	LAL
LiAlO2	Lithium aluminate	-
LiF	Lithium fluoride	-
LiNbO3	Lithium niobate	LN
(La,Sr)(Al,Ta)O3	Lanthanum strontium aluminium tantalate	LSAT
LiTaO3	Lithium tantalate	LT
MgAl2O4	Magnesium aluminate	Spinel
MgF2	Magnesium fluoride	Sellaite
MgO	Magnesium oxide	Periclase
NdGaO3	Neodymium gallate	-
(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3) - xPbTiO3	Lead magnesium niobate – lead titanate	PMN-PT
Si	Silicon	-
SiC	Silicon carbide	-
SiO2	Silicon dioxide	Amorphous Quartz glass
α-SiO2	Silicon dioxide, single crystalline	Alpha-quartz
SrLaAlO4	Strontium lanthanum aluminate	SLA
SrLaGaO4	Strontium lanthanum gallate	SLG
SrTiO3	Strontium titanate	Fabulite, Tausonite
SrTiO3:Nb	Niob doped Strontium titanate	-
TbScO3
TiO2	Titanium dioxide	Rutile
Y3Al5O12	Yttrium Aluminium Garnet	YAG
Y3Fe5O12	Yttrium Iron Garnet	YIT
YVO4	Yttrium Orthovanadate	YVO
YAlO3	Yttrium Aluminium Perowskite	YAP
YAlO3:Ce	Cerium doped Yttrium Aluminium Perowskite	YAP:Ce
ZnO	Zinc oxide	Zincite
ZnS	Zinc sulfide	-
ZnSe	Zinc selenide	-
ZnTe	Zinc telluride	-
ZrO2:Y	Yttrium stabilised Zirkonium dioxide	YSZ