进口spin coater

这款进口spin coater是高精度匀胶仪,匀胶台,甩胶仪,涂胶仪,旋涂仪,结构紧凑,具有xianjin的功能,可安装到手套箱中使用。适合150mm晶圆和5英寸×5英寸（127mm×127mm）基板使用，zui大转速为12000RPM（基于100mm硅片）.
进口spin coater包括一款无线平板电脑，该平板电脑采用独家的Laurell Touch过程控制软件。通过使用其附带的PC软件Spin 3000，它在过程定义和使用方面实现了几乎闻所未闻的灵活性。该无线控制器允许操作员在流程执行期间从实验室的任何位置进行实时交互，包括暂停时间、停止和从该点继续。该系统可以并且将在现场通过可下载的固件版本轻松快速地持续*新。
进口spin coaterPC的使用增加了记录进程运行、远程操作、编程或跨局域网或互联网通信的能力。该软件免费提供，允许操作员在实际安装的spin coater硬件之外创建虚拟流程模拟，实际上，让他们在提交流程之前尝试。所有进口spin coater都可以通过简单的插件模块（无论是实际的还是虚拟的）升级或重新设计，无需返回工厂，并且可以包含几乎无限数量的过程和步骤。
进口spin coater的外壳通常由Laurell Technologies专有的固体共聚共混物制成。与纯天然聚丙烯不同，这种材料能够抵抗溶剂和强酸强碱。样品可根据要求进行测试和验证。可提供固体PTFE Hostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外壳（适用于高温化学和亚微米颗粒研究）。
进口spin coater闭式碗设计，加上过程控制器的精度，允许大多数涂层材料在静态状态下干燥，提高均匀性并将颗粒污染降至zui低。上部增压室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导至系统后部，防止化学品意外滴到基材上。
进口spin coater专有的迷宫密封保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封为工艺室提供氮气吹扫，并在现场测试期间证明在亚微米水平上无颗粒。该系统的盖子耐化学腐蚀，并在整个系统的非湿润区域使用涂有ECTFE的316不锈钢螺钉固定。