激光超声粘合连接检测仪是为检测微电子器件粘合连接材料(金属间结构)和键合状态的
激光超声成像设备,还能检测空洞和表面裂纹,采用微
激光超声技术Laser Ultrasonic实时进行失效分析,三维成像并可把测试结果存档。
我们的
激光超声粘合连接检测仪采用的微
激光超声技术比传统的接触式方法有了很大的改进。测试点不需要接触,也不会改变其形状。采用非接触式的激光激励比接触试式的要柔和得多。而且激光被用作信息的载体,这样测试的速度比任何自动引线键合机都快得多(不到百万分之一秒),使其能够实现自动化和实时过程控制。
我们的
激光超声粘合连接检测仪不需要牵引和剪切,被测材料可以通过高速传输平台“转向”到激光束上。因此,键合完整性测试可以通过点对点的场景来执行。通过嵌入式机器视觉、高分辨率传感器和数字信号处理算法,该技术可以在无需操作员干预的情况下自动搜索、定位和测试粘接完整性。操作员只需装卸被测零件。除了测定金属间材料(在半导体球键下)的连接完整性外,我们的
激光超声技术还可以用来表征表面材料的结构。
激光超声粘合连接检测仪技术背景
激光超声技术Laser Ultrasonic集成了脉冲激光和连续波激光探测器感应装置。简单地说,脉冲激光器向待测物件(例如,半导体互连过程中常用的球键)发送一个能量受控的激光脉冲,引起待测区域热弹性激发响应。这种激励诱导超声波在邻近材料上传播(表面波和体波)。连续波激光器(探测器)获取表面波的结构和大小,然后对表面波进行分析,并将其与连接材料的连接状态关联起来。
激光超声技术Laser Ultrasonic可以进一步描述为经典的“池塘中的鹅卵石”场景,即鹅卵石落入池塘中间,从而在水面上产生“尾迹”或一系列波浪,这种“尾迹”从池塘中心向外传播。通过观察和关联尾流的特性,可以确定池塘中水的流动性,以及卵石的大小、高度和速度。
我们的
激光超声技术装置是由控制良hao的光束组成的,激光束直径大小可聚焦到微小尺度,适应半导体材料和微电路的小型化趋势。0.005”和0.001”键合位置旁硅表面上的脉冲(原因)和检测(效果)光束。梁的直径约为0.0005英寸。
激光超声粘合连接检测仪软件特点
用户友hao界面
我们基于Windows的图形用户界面(GUI)集成了系统所需的所有硬件,为zui终用户提供了一个非常友hao和主动的操作环境。我们的系统在5种不同的操作模式下运行:
校准模式–在此模式下执行系统校准和故障排除。
编程模式–通过单步执行要测试的部件来支持部件预编程。程序只能由授权人员修改(编辑、添加和删除)。
计算机辅助(半自动)模式-使用鼠标或定点设备通过点击选择测试材料。可以保存测试结果、测试点的实时图像和原始数据,以备将来的审查和评估。
自动模式–zui终用户可以执行生产测试(多个零件),无需操作员干预(除了加载和卸载新零件)。通过/失败分析自动执行并实时记录。可以为过程控制检索统计信息。
数据检索和分析模式-检查按零件号、客户和制造机器排序的测试结果是一些选项。包括用于演示的增强图形。