离子溅射仪

离子溅射仪是为电镜制样设计的离子溅射喷金仪，实现离子在样品表面溅射,形成金属薄膜。
当需要使用扫描电子显微镜（SEM）分析图像或成分时，由于非导电物体的充电现象会导致图像失真，使正常测量变得困难。由于电子束在非导电样品表面积聚带电粒子，导致图像失真，因此必须进行溅射（涂层）工艺。

离子溅射仪特点

1. 使用7英寸触摸显示屏进行方便的控制
   2.真空→ 自动涂层→ 一键式通风口控制
   3.库：保存频繁使用条件（zui多10个）
   4.样品桩7根（Φ14㎜) 在室内一起安装
   5.防止样品被低压涂层损坏（1至10mA）
   6.通过紧凑的尺寸zui大限度地减少安装空间

离子溅射仪规格参数

真空度：2.0 x 10-1Torr

离子电流：1-10mA

靶材： 纯金或Pt

样品腔尺寸：Φ140mm(D) x 100mm(H)

样品台：Φ50mm(D) x 30mm(H)              

靶材尺寸：Φ50mm(D)

溅射时间：1-600秒

真空泵：100L/min

尺寸：Main : 380(W)x240(D)x250(H)mm, 10kg

供电要求：110~220VAC ±10%, 50/60Hz