非接触式探针台

这款非接触式探针台是为高频电子设备、IC和材料测试/表征设计的非接触式探针测试分析系统。首次实现了整个毫米波和太赫兹波段电子设备和IC的自动S参数表征。测量范围为55GHz-1.1THz
非接触式探针台还是全自动的探测试验台,能够对晶圆上的每个芯片进行无人值守的检查,并具有如下功能：
毫米波和太赫兹波段的片上S参数测量
无磨损，消除了接触式微探针的主要缺点
亚微米对准重复精度，实现可靠和可重复的测量
通过精确的晶圆校准实现多端口器件和IC特性
适用于整个毫米波太赫兹波段的通用、经济高效的测试台
非接触式探针台还可以做成材料表征系统使用高精度机械臂和新型校准，以1000分之一的精度精确测量材料面板和薄膜的介电常数和损耗角正切。