自动FOUP开盒机

自动FOUP开盒机可对300毫米FOUP盒自动开门器解锁、移除并存储FOUP门。FOUP下方的旋转基座机构允许360°旋转，以将打开的FOUP盒定位在操作员的zui佳人体工程学进入位置。
自动FOUP开盒机通常安装在FOUP晶圆盒清洗站，用于拆卸和重新组装吊舱。为ISO 3级（FS209E 1级）设计；抗静电结构。
自动FOUP开盒机规格参数

适合晶圆尺寸	300mm
供电要求	24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately
吞吐量	90 FOUPs/小时
重量	约为30kg