晶圆IC检测金相显微镜MX-2000T是为晶圆检测和IC检查设计的数字
金相显微镜,光学放大率高达400倍,XY工作台行程范围大且易于移动,您可以通过目测或自动聚焦显微镜摄像头快速检查晶圆,同时只需在LCD显示屏上查看结果即可。
通过简单的鼠标点击,您可以快速执行尺寸测量,并将结果捕获到SD卡或计算机上。对于任何半导体企业和冶金实验室来说,
晶圆IC检测金相显微镜MX-2000T都是必不可少的检查、记录的显微镜。
晶圆IC检测金相显微镜典型应用
半导体晶圆集成电路检测显微镜
工业冶金分析
大功率远距离检测显微镜
晶圆IC检测金相显微镜MX-2000T特点
专为晶圆IC检查而设计
用于自动对焦显微镜摄像头或具有测量功能的4K摄像头的三目端口
易于移动的10英寸x 10英寸XY工作台,带有同轴旋钮控制,移动距离为195mm x 245mm
总光学放大率40x-400x,带10x高目镜
4x、10x、20x、40x无限平面消色差物镜
目镜22毫米视场,30度角
照明:卤素同轴反射光
可靠且价格合理
晶圆IC检测金相显微镜MX-2000T规格参数
观察头:无补偿三眼头,倾斜30度
目镜:超宽视场目镜WF 10X/22mm
物镜:无限平面消色差,4X,10X,20X,40X,(80X可选)
放大倍数:40-800X(双目目镜观察)
视场:0.275mm-5.5mm(双目目镜观察)
Nosepiece物镜转塔:四重机头:4X/10X/20X/40X(可选80X)
聚焦系统:同轴粗、精对焦系统,距离24mm
XY位移台尺寸:300mm x 268mm
XY位移台尺寸行程范围:250mm x 250mm, 10″ x 10″
照明光源:卤素灯6V20W,亮度连续可调
滤光片:蓝色,黄色,绿色和Ground 玻璃
偏振配件:偏振分析器和偏振片
高级平面消色差物镜 |
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放大倍数: 4x 10x 20x 40x |
工作距离 (mm) |
数值孔径 (N.A.) |
物镜10X(Φ22mm) |
FOV 视场(mm) |
4X |
25.4 |
0.1 |
40X |
5.5 |
10X |
11 |
0.25 |
100X |
2.2 |
20X |
6 |
0.4 |
200X |
1.1 |
40X |
3.7 |
0.6 |
400X |
0.55 |
80X (Optional) |
0.2 |
0.9 |
800X |
0.275 |
晶圆IC检测金相显微镜检测结果