这款主动磁场屏蔽消磁系统是**为电镜等电子束仪器屏蔽磁场干扰而设计的磁场屏蔽和消磁装置系统.用于为科学仪器装置免收磁场干扰影响的环境.主动磁场屏蔽消磁系统在原有的磁场屏蔽室内增设主动磁场消磁仪器,为精密科学仪器提供磁场屏蔽环境。
主动磁场屏蔽消磁系统应用
扫描电子显微镜SEM
透射电子显微镜TEM
聚焦粒子束FIB
质谱仪器MASS
电子束光刻系统EBL
掩膜检测装置设备
晶圆检测系统
其它电子束EB仪器
干扰磁场无处不在,需要屏蔽消磁：
直流磁场：静磁场是指强度、方向基本不变的稳恒磁场。
交流磁场：指强度、方向发生周期性变化的磁场。
随机磁场：由地铁、汽车等通过时而产生的磁场・・・
电气设备・机器的运作/停止等引发的磁场・・・
磁场的紊乱会对精密仪器的性能带来不良影响
受直流磁场的影响，图像偏移不清；图像紊乱，图像消失不见；
受交流磁场影响：图像⾥有类似线条等出现
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将同轴心的亥母霍兹线圈串联并平行配置，可以将外部电流和线圈轴方向磁场发生的改变
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主动磁场屏蔽消磁系统构成
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主动磁场屏蔽消磁系统参数规格
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*点
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X、Y、Z 三轴同时控制
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带有自动调整功能
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控制范围
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±5μT（2m四方筐型线圈的情况）
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控制频率
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直流~1 kHz
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衰减率
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*大40-60 dB
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控制方式
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直流磁场表值控制+各轴*立反馈控制
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主动磁场屏蔽消磁系统应用
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